深紫外单纵模固体激光器Ixion193

    简 述:
    Ixion193为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm 步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
    品 牌:
    德国 Xiton Photonics
    产品型号:
    • Ixion193
    深紫外单纵模固体激光器Ixion193
    IXION 193 为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm 步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
    典型应用:
    • 光谱仪校准;
    • 光刻;
    • 干涉仪;
    • 193nm 计量测量
    • 准分子激光器种子源

    深紫外单纵模固体激光器Ixion193典型参数
    型 号IXION-193 SLM
    波 长193.368 nm
    平均功率10 mW
    脉 宽8-12 ns
    脉冲能量1.6µJ
    重复频率1-15 kHz
    M2 因子< 1.6
    线 宽<80MHz/0.01pm/0.0027cm-1
    调谐范围>80GHz/10pm/2.6cm-1
    相干长度>2m
    脉冲宽度

    光谱带宽

    长时间功率稳定性

    光束质量

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