准分子激光器ATLEX-S系列
简 述:
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列,低负荷的ATLEX-LR 系列,以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
品 牌:
德国 ATL Lasertech
产品型号:
- ATLEX-S系列
德国ATL Lasertech 公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器。
主要应用于:
• 眼科手术
• 玻璃及塑料微加工
• 微制造
• 激光剥蚀
• TOF 质谱
• FBG 刻写
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列,低负荷的ATLEX-LR 系列,以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求:
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 < 3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷,主动热管理
• RS485,RS232,USB 以及光纤接口
• 可冲洗光具座
• 能量稳定模式
ATLEX-S 系列准分子激光器
ATLEX-S 具备更小的尺寸,适合低- 中负荷的应用。
增益介质 | ArF |
| KrF |
|
波长 (nm) | 193 |
| 248 |
|
高压开关技术 | 固态开关 | |||
最高脉冲能量 (mJ) | 10 |
| 15 |
|
最高平均功率 (W) | 2.4 | 4.0 | 4 | 6 |
最高重频 (Hz) | 300 | 500 | 300 | 500 |
脉冲宽度 (ns) | 5 - 8 | |||
光束尺寸 (mm) | 4×6 | |||
光束发散角 (mrad) | 1×2 | |||
能量稳定性 (rms) | 3% | |||
外形尺寸 (mm, L×W×H) | 630×400×300 |