准分子激光器ATLEX-I
简 述：
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列，低负荷的ATLEX-LR 系列，以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
品 牌：
德国 ATL Lasertech
产品型号：
- ATLEX-300-I
- ATLEX- 500-I
- ATLEX-1000-I
德国ATL Lasertech 公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器。
主要应用于：
• 眼科手术
• 玻璃及塑料微加工
• 微制造
• 激光剥蚀
• TOF 质谱
• FBG 刻写
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列，低负荷的ATLEX-LR 系列，以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求：
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 < 3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷，主动热管理
• RS485，RS232，USB 以及光纤接口
• 可冲洗光具座
• 能量稳定模式
ATLEX-I 系列准分子激光器
ATLEX-I 依据重复频率的不同， 分为ATLEX-300-I、ATLEX-500-I、ATLEX-1000-I 三个型号。
ATLEX-I 系列技术参数
增益介质 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
波长 (nm) | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | |
高压开关技术 | 固态开关 | |||||
| 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | |
*高平均功率 (W) | ATLEX-300-I | 0.2 | 2.4 | 4.0 | 2.0 | 1.7 |
ATLEX-500-I | 0.5 | 4.0 | 6.5 | 3.0 | 2.5 | |
ATLEX-1000-I | N/A | 8 | 10 | N/A | N/A | |
*高重频 (Hz) | ATLEX-300-I | 300 | ||||
ATLEX-500-I | 500 | |||||
ATLEX-1000-I | 1000 | |||||
脉冲宽度 (ns) | 5 - 8 | |||||
光束尺寸 (mm) | 4×6 | |||||
光束发散角 (mrad) | 1×2 | |||||
能量稳定性 (rms) | 3% | |||||
外形尺寸 (mm, L×W×H) | 540×470×300 | |||||
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